商品簡介
在晶圓製程現場，機台在運作時常會因為摩擦或材料特性產生靜電，這些電如果累積沒釋放出去，就可能像閃電一樣突然放電（arcing），對晶圓造成傷害，甚至影響良率。為了避免這種情況，機台會設計「靜電洩放」路徑，把靜電導到地面。而這條路徑的電阻值，就叫做 ESDR（靜電放電阻抗）。
ESDR 設計得越合適，靜電就越不容易惹禍，這時就需要「接地電阻自動量測系統」！
它能自動量測設備的接地狀態，帶有異常提醒，且保有資料便以追蹤。對有靜電保護需求的環境來說，不只是省人力，更是讓防護真正落地的一大利器。
系統功能：
- 匯入機台月保排程，依指定時間自動量測接地電阻（規格：<1Ω）
- 量測單元內建標準電阻（0.1Ω & 1Ω 0.1%），可自動排程做自我校正
- 量測單元有外部儀器校正點 for 3M Ground Pro Meter CTM051（2% + 0.01Ω）做標準電阻值驗證
- 與工作站採用 USB 連線（無 PIP 儲存裝置疑慮），每一量測單元與資料收集主機距離可達15公尺
- 單台資料收集主機可連接 9台量測單元
- 量測資料可透過網路上傳雲端網頁，亦可透過網頁控制量測單元
商品規格
量程：0.0001mΩ ~ 200Ω
精度：0.5%
四線式量測線長：1.5公尺