自動化晶圓傳送盒存放系統

商品簡介

以智慧化模組設計,支援 AGV 搬運與 MES 系統整合,設計強調簡約、自動化與可追溯性,可搭配 RFID 感應模組進行精確管理,實現高密度、無人化儲存管理。潔淨室等級結構,提升產線效率與晶圓搬運品質,同時具備未來擴充整合的彈性。

系統特色:

  • 高密度儲存能力:每座料架配置約 30 個儲位,支援 300mm FOUP 或其他自定義尺寸。
  • 管理簡易化:透過操作界面及感應確認作業,可有效管理進出料盒,使作業環境半自動化。
  • RFID 感應整合:配置 RFID 感應模組,可即時識別與紀錄晶圓傳送盒資訊。
  • 即時存取紀錄:每次放置或取出晶圓盒傳送盒時,自動記錄料號、時間、操作人、位置、狀態等。
  • 防誤放機制:若傳送盒放錯儲位,系統將立即警示。
  • MES 系統支援:可與客戶現有系統整合,傳送盒動態資料即時上傳。

儲存格狀態顯示說明:

指示燈狀態顯示說明: