半導體測試設備

Open-Short 量測設備(iOST)

Open-Short 量測設備(iOST)
方案概要

最高支援 16,384 通道,以高速、準確、智慧的使用體驗,為半導體封裝測試流程帶來最高效率與品質。

與傳統的 Open-Short 量測設備相比,iOST 的設計具有更高的速度、更準確、更智慧的使用體驗,為客戶提供半導體封裝測試流程的最高效率與品質。

高引腳計數

最大通道數高達 16,384。基於即時多工處理設計,即使運行 16,384CH 系統,延遲時間也比上一代 2,048CH 系統縮短 50%。一個主機殼最多支援 2,048 個通道(每個主機殼有 16 片 CH 板,每片 128CH),LB 電纜與上一代系統完全相容。

高性能

  • 高精度:所有系統電路均採用新一代工業標準元件(OPA、PGA、ADC、DAC…)進行精密量測,提高精度與速度,並降低溫度漂移。
  • 高可靠性:內建高精度參考電壓與智慧自校準電路;整體採低功耗設計,量測單元電路完全隔離,即使在嘈雜環境中也能提供穩定可靠的資料。「一鍵自校準」簡化了傳統繁瑣的校準工作,確保測試作業始終正確。
  • 高速:保留傳統儀器指令控制設計,並內建主動測試程式處理單元,可自動完成所有量測;PC 可同時並行處理與分析測試結果。專用的即時多工通道開關設計大幅縮短信號延遲,即使運行 16,384 通道,對 OST 測試時間的影響也非常有限。

iOST 系統

智慧功能

  • 自動學習:簡單的參數設定與強化演算法,讓結果分析更正確、測試條件更完整,達到立即測試與生產的目的。與舊版測試程式相容,無需重新建立即可更新。內建每個通道的電壓、電流、阻抗統計,搭配 I-V 曲線與 V-T 曲線圖形分析,讓工程師更快完成測試程式穩定性驗證與除錯。
  • 完整自我診斷:HP16 系列 iOST 配備專屬 Diag-Board,採高精度、低溫漂電路設計,支援精確的 DUT 模擬與標準負載測試,並提供 APMU 力/量測精度驗證、LB 電纜阻抗品質驗證、CH 板漏電驗證、二極體曲線測試等自我驗證功能,量產時出現問題可快速排除、將損失降到最低。
  • 精密自校準:採用精確穩定的參考電壓與智慧校準電路,無需 VR 調整,降低溫度、濕度與振動的影響。使用簡單高效的 RWC(讀取-寫入-點擊)校準程序:連接經認證的精密 DMM,讀取電壓值後寫入軟體控制台,按下校準按鈕,10 秒內自動完成。
  • 良率分析:可用內建量測工具(V / I / R)對單一通道做靜態電氣特性測試,也能用動態 I-V 或 V-T 曲線做失效分析;支援良率分析與結果/故障統計,表格與圖形報表讓工程師更快發現製程問題。

商品規格

System
Performance
PC Interface1-Port USB
Max. Pin-Count16384 (128CH~16384CH)
Test Time
(8192-pin System)
0.4mS Per Pin Typically
(Test Current = 100uA, CV = 3.0V)
A/D, D/A Resolution16-bit
Handler Interface1. Support Maximum 16-Site HIF (*1)
2. SOT, EOT, BIN1/BIN2/BIN3, RET Handshaking (*2)
3. TTL/CMOS, 3.3~15V, with Optical Isolator
Operation1. 4-quadrant operation: Pin-to-Pin, Pin-to-All, All-to-Pin
2. Force Current Measure Voltage (FIMV), with Voltage Clamping
3. Force Voltage Measure Current (FVMI), with Current Clamping
4. Leakage Current Measurement
5. I-V Curve and V-T Curve analysis
6. Kelvin 4-wire Architecture
APMU
Resolution
Accuracy (*3)
Force Voltage±10.0V0.313mV± 0.3%
Force Current± 10.0uA0.156nA± 0.4%
± 0.1mA1.562nA± 0.2%
± 1.0mA15.62nA± 0.2%
± 10.0mA156.2nA± 0.2%
Measure Voltage± 1.0V0.032mV± 0.1% ± 1.0mV
± 2.0V0.063mV± 0.1% ± 1.0mV
± 4.0V0.125mV± 0.1% ± 2.0mV
± 8.0V0.250mV± 0.1% ± 4.0mV
Measure Current± 10.0uA0.313nA± 0.2% ± 0.01uA
± 100.0uA3.125nA± 0.1% ± 0.10uA
± 1.0mA31.25nA± 0.1% ± 1.00uA
± 10.0mA312.5nA± 0.1% ± 10.0uA
Measure Leakage (*4)10~200nA0.078nA± 1.0% ± 0.5nA
0.2-3.0uA0.156nA± 0.5% ± 5.0nA
Software
Application
OSWindows XP/XP Pro, Windows 7/8/10 or higher version
Operation1. Production/Engineer mode controlled by Password
2. Smart Program Auto-Learning/Program Editor
3. Real-Time Production Status Monitoring
4. Manual Pin-Testing/Analysis, Production Statistics Logger/Analysis
5. One-Key Self-Calibration/Fully Self-Diagnostics
File I/O1. Text Engineering Statistics file
2. Text Production Logger/Fault Analysis file
3. Text Wire definition/Test Program file
4. Text System Configuration file
*1: Standard equipped 2-Site/8-Site HIF. 16-Site HIF is optional, TBD
*2: RET function of HIF is optional, TBD
*3: Accuracy ± (% of Display ± Offset), 1 Year, 23℃ ± 5℃
*4: Guaranteed by parametric design, not subject to production test

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