晶圓盒存放系統支援 AGV 搬運與 MES 整合的智慧料架,搭配 RFID 精確管理晶圓傳送盒,實現高密度、無人化儲存。每座約 30 儲位,支援 300 mm FOUPRFID 即時識別與存取紀錄防誤放機制、MES 整合查看案例索取規格與報價