方案概要
24/7 自動量測設備接地電阻，異常即時告警並保留完整紀錄，讓 ESD 防護真正落地。
電子製造與精密產線中的機台運作時，常因摩擦或材料特性產生靜電。若設備未能維持正常接地以釋放電荷，不僅可能造成製程異常與測試數據偏差，更可能導致元件損壞、良率下降，甚至影響整體產能。因此設備通常會設計「靜電洩放」路徑將靜電導向地面，而持續監控洩放路徑的電阻值，就是判斷設備是否正常接地的關鍵指標。
我們開發的 ESDR 接地電阻自動量測系統（ESDR Measurement System） 能即時偵測設備接地狀態，自動量測並判斷是否符合標準範圍；一旦發現異常立即提醒，並保留完整資料供日後追蹤。對有靜電防護需求的產線而言，不僅能降低人力檢測負擔，更是確保 ESD 防護真正落地的利器。
自動化量測
週期性標準化量測流程，支援 0.005Ω～20Ω 微阻檢測範圍，降低人力巡檢需求。
即時告警通知
即時顯示數值，異常觸發警報輸出，提升產線穩定性與稼動率。
自我校正
內建高精度標準電阻，支援自我校正與外部驗證，降低維護成本並確保準確度。
快照報表
保存並回查最多 100 萬筆資料，支援歷史數據追蹤與失效模式分析，助力品管。
常見阻抗等級及應用對照
| 阻抗等級 | 應用場景／設備部位 | 常見依據／規範 | 目的／說明 |
|---|---|---|---|
| < 0.1 Ω | 製程夾具與接地端接觸（電鍍夾具、RF 腔體）、靜電吸盤導電層 | SEMI E176、微阻儀實務標準（Hioki、Chroma） | 確保高頻／大電流導通穩定性，避免微阻偏差導致製程不均或故障 |
| < 1 Ω | 可觸金屬外殼、翻轉臂、機械臂、ESD 導通接地線 | ANSI/ESD S6.1、SEMI S2、IEC 61010 | 人員接觸安全與靜電洩放通路，避免浮接或阻抗過高造成 ESD 放電風險 |
| < 5 Ω | 活動結構滑動碳刷、彈性接片、搬送機構端點 | 工廠設備驗收基準、內部導通檢查建議值 | 提供足夠導通可靠性並保有機構彈性，常見於旋轉或不穩定接點 |
| < 10 Ω | 非關鍵接地點：機台插座、一般設備框架、ESD 工作站接地測試點 | ANSI/ESD S6.1（最大值）、IPC-A-610 建議 | 最寬容門檻，用於非製程關鍵點接地驗收，應避免應用於高速或敏感區域 |
系統裝置流程
- 確認機台量測點
- 安裝量測系統
- 24/7 自動化量測
- 劣化即時告警
- 每年在線式校正
商品規格
| 項目名稱 | 規格說明 |
|---|---|
| 通道數 | 標準內建 32 通道（可擴充） |
| 量測方式 | 四線式（Kelvin）接線，一鍵自動量測 |
| 量測範圍與解析度 | 0.1Ω、1Ω、5Ω、10Ω，最小解析度 0.001Ω |
| 自我校正功能 | 內建三組標準電阻 0.1Ω／1Ω／10Ω，精度 0.1%，自動校正 |
| Logger 記錄功能 | 可設定記錄時間範圍（每 5 秒～每 1 天記錄一筆），支援 3 個月以上歷史查詢 |
| 異常紀錄與警報查詢 | 自動記錄異常通道與時間，可回溯檢視警報原因與通道變化 |
| 操作介面 | 5 吋 LCD 觸控螢幕，中／英文操作介面切換 |
| 資料輸出與匯出 | 支援 CSV 檔案匯出、USB 下載、遠端查詢 |
| 通訊介面 | USB（CDC/HID）、RJ45（Modbus TCP 選購）、RS485（Modbus RTU 選購） |
| 校正測試點 | 可外接精密校正儀器進行比對測試，並預留 0.1Ω／1Ω／10Ω 測試點 |
| 儲存容量 | 最少支援記錄 3 個月資料（依設定頻率變動） |
| 電源供應 | DC 12V～24V |
