方案概要
支援 AGV 搬運與 MES 整合的智慧化料架，搭配 RFID 精確管理晶圓傳送盒，實現高密度、無人化儲存。
以智慧化模組設計，支援 AGV 搬運與 MES 系統整合，設計強調簡約、自動化與可追溯性。可搭配 RFID 感應模組進行精確管理，實現高密度、無人化儲存；潔淨室等級結構提升產線效率與晶圓搬運品質，同時保有未來擴充整合的彈性。
系統特色
- 高密度儲存能力：每座料架配置約 30 個儲位，支援 300mm FOUP 或其他自定義尺寸。
- 管理簡易化：透過操作介面及感應確認作業，有效管理進出料盒，讓作業環境半自動化。
- RFID 感應整合：配置 RFID 感應模組，可即時識別與紀錄晶圓傳送盒資訊。
- 即時存取紀錄：每次放置或取出傳送盒時，自動記錄料號、時間、操作人、位置、狀態等。
- 防誤放機制：傳送盒放錯儲位時，系統立即警示。
- MES 系統支援：可與客戶現有系統整合，傳送盒動態資料即時上傳。
儲存格狀態顯示說明
指示燈狀態顯示說明
